产品详情
  • 产品名称:四探针电阻率/方块电阻测试仪

  • 产品型号:CDEResMap
  • 产品厂商:其它品牌
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简单介绍:
四探针电阻率/方块电阻测试仪测量电阻率及方块电阻(只测量非金属薄膜,避免设备污染) 四探针电阻率/方块电阻测试仪
详情介绍:

CDEResMap四探针电阻率/方块电阻测试仪




产品介绍

四探针电阻率又名方块电阻测试仪,主要用于测量电阻率及方块电阻(只测量非金属薄膜,避免设备污染)。提供自动计算机量测的四点探针阻值量测机台。快速,jing确与软件控制下针、软件功能可化下针压力,即使薄片量测也不易破裂。自动清针(Probe Conditioning);动作,双针头切换能使用可支持自动Loader,300mm 机台可使用Front End,zui多扩充3个量测单元,支持Semi标准接口。


技术参数

薄膜电阻测量范围: 10-5Ω.cm~105Ω.cm

方块电阻测量范围:10-3Ω/□至106Ω/□

晶片直径: 50至200mm,可测量不规则硅片

具有2D、3D Mapping的数据分析功能。

具有测试数据自动导出功能。


典型应用

非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;

选择性发射极扩散片;

表面钝化片;

交叉指样PN结扩散片;

新型电极设计,如电镀铜电阻测量等


公司主要研发、制造和销售的检测仪器有:电压击穿试验仪、高压漏电起痕试验仪耐电弧试验仪、铁电材料测试仪器、介电常数及介质损耗测试仪、表面及体积电阻率测试仪、压电材料测试仪器、热电材料测试仪器、绝缘材料电性能检测设备、高温管式炉\反射炉\气氛炉、高温电性能测试设备、EST静电检测仪器、硅橡胶\绝缘子行业测试设备、PCB\三防漆电子材料测试、电气薄膜电学检测仪器、高低压电气材料测试设备、电线电缆行业电学测试设备、高分子材料电学测试仪器、热分析仪器、电气安规检测仪器、半导体芯片类测试仪器等,可接定制仪器订单。

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